集成電路無塵車間是為了實現半導體設備加工工藝要求的凈化室，該無塵車間對自然環境潔凈度等級、溫度濕度、震動、ESD、AMC操縱等常有必須的規定。相對性于別的工業生產凈化室，集成電路生產制造無塵車間有總面積大、清潔等級高、溫度濕度線性度高等特性。

根據潔凈室車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型：循環系統空調相互配合高效送風口系統軟件、循環系統離心風機相互配合濕試密封性系統軟件和FFU呼吸系統。

第一類：在小規模納稅人低等級規定的凈化室生產車間設計構思中被運用，針對大規模高級的凈化車間則存有運作成本費過高、占有室內空間過大等缺陷。

第二類：能夠考慮集成電路生產制造無塵車間大規模高級的規定，但運作成本費較高，而且凈化室風力、排風量調整艱難，系統更新更新改造艱難，因而實際操作協調能力很低。

第三類: 的FFU呼吸系統不但節約運作室內空間、潔凈度等級安全系數高、運作低成本，并且實際操作協調能力很高，能夠不在危害生產制造的狀況下隨時隨地開展系統更新和調節，這種都能非常好地考慮半導體設備的要求，因而在半導體材料加工業FFU呼吸系統逐步形成最關鍵的清潔方案設計。

       FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

       集成電路制造對無塵車間環境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環境下，而化學機械研磨則只要求1000級的環境即可。另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中，FFU循環系統運行成本最低，潔凈度安全性最高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。

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